При стерилизации паром микроорганизмы уничтожаются находящимся под давлением насыщенным паром. Всокая температура повреждает важные структуры клеток, включая мембраны цитоплазмы, и клетки перестают быть жизнеспособными.
Масштаб повреждения клеток бактерий зависит от температуры и от времени контакта с ней. На практике это означает, что при более низких температурах стерилизация занимает больше времени. Кроме того, чем больше популяция бактерий, тем больше затрачивается времени на их обезвреживание. То же самое, разумеется, относится в основном, к облучению и EtO.
Пар нельзя применять при плотно упакованных изделиях. Метод подходит, например, для больниц, где можно на месте удалить упаковку или обработать товары с упаковкой перед началом использования.